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真空鍍膜是一種通過物理方法生（shēng）產薄膜材料（liào）的技術。在真空室中，材料的原子從加熱源中分離（lí）出來，撞擊（jī）在被鍍物體的表麵（miàn）上。真空鍍膜機在（zài）正常工作情況下，通電時必須先打開水管，工作中要（yào）隨時注意水壓（yā）。
真空鍍膜電（diàn）源在離子轟擊蒸發過程中，要（yào）特（tè）別注意高壓線接（jiē）頭，不要觸碰，以防觸電。用電子槍（qiāng）鍍膜時，應在鍾罩外圍放一塊鋁板。觀察窗的（de）玻璃好是鉛（qiān）玻璃，觀察時應佩戴鉛玻璃眼鏡（jìng），防止X射線對人體造成傷害。
在鍍多層介質膜的鍍（dù）層室內，應安裝通風除塵裝置，及時清除（chú）有害粉塵。易燃（rán）、有毒物品（pǐn）應妥善保（bǎo）管，防止火災中毒。酸洗夾具應在通風設（shè）備中（zhōng）進行，並（bìng）應（yīng）戴上橡膠手套。將零件放（fàng）入酸洗或堿洗槽時，應輕拿輕放，不得碰撞、濺水（shuǐ）。通常酸洗槽應加蓋。
真空鍍膜有（yǒu）蒸發鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍三種形式（shì）：當濺射鍍膜用高能粒子轟擊固體表麵（miàn）時，可以獲得固（gù）體表麵的粒子。能量從表麵逸出並沉積在基板上；離子鍍（dù）蒸發（fā）物質的（de）分子通過電子撞擊被電離，並以離（lí）子的形式沉積（jī）在固體表麵。所有三種形式的真空鍍膜技術都需要快速冷卻裝置來輔助真空鍍膜過程。
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