江蘇MSD係列小功率直流磁控濺射電源

主要型號：

主要特點：
   A 采用先進的電（diàn）流型開關電源技術，減小輸出儲能元件，
同時提高了抑製打火及重（chóng）啟速度，應用在鋁靶鍍（dù）膜優勢更為（wéi）明顯。
   B 具備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相對於傳統的恒流（liú）模式，
更能保證鍍膜工藝的重複性。
  C 具有理想的電壓陡降特性，自動識別偽打火現象，
充分滿足磁控濺射工藝過程的連續性。
  D 可選擇手動控製/模擬量接（jiē）口控製，可選配（pèi）RS485通（tōng）訊接口。
  E 專門為試驗型真空設備定製，相對（duì）生產型設備的直流磁控濺射電源，
為客戶減小電（diàn）源體（tǐ）積和降低成本
采（cǎi）用先進的PWM脈寬調製技（jì）術，使用進口IGBT或（huò）MOSFET作為功率開關器件，
體積小、重量輕（qīng）、功（gōng）能全、性能（néng）穩定（dìng）可靠，生產工藝嚴格（gé）完善。
該係列產（chǎn）品采用先進的DSP控製係統，充分保證鍍膜工藝的重（chóng）複性，
並且具有抑製（zhì）靶材弧光放電及抗（kàng）短路功能，
具有極佳的負載匹配能力，既保證了（le）靶麵清洗工藝的（de）穩定性（xìng），又提高了靶麵清洗速度；
主要參數均可大範圍連續調節；
方便維護，可靠性高；
PLC接口和RS485接口擴展功能，方便（biàn）實現自動化控製。

主要用途：

直流磁控濺射用於鍍製各種金屬。

真空鍍膜電源的故（gù）障現象分析及排除，在實際使（shǐ）用的過程中，真空鍍膜機就出現過不少（shǎo）故障，其中高壓電源部分的故障較多，也比較複雜，下麵就幾種典（diǎn）型的故障進行（háng）分析（xī）。

1、增加電（diàn）子束流時，高壓沒有指示

真空鍍膜機在正常工（gōng）作的時候，設備的主開（kāi）關電路中的（de）開關管處於飽和的導通狀態（tài），當管壓下降保持在（zài）100V左右的時候，柵極得（dé）到正偏壓50V，高壓指（zhǐ）示6kV（或10kV）。從檢測電（diàn）路（lù）上得到的電壓控製信號不足（zú）以使穩壓管擊穿導通。在不正常的情況下，增（zēng）加束流時（shí），由於束斑的位置不在中（zhōng）心，電子束可能會打到坩堝的邊緣，或者束斑的位置在中心，但蒸鍍的材料被（bèi）打穿等原因，都會出現高壓無指示。這（zhè）是由於高壓輸出被近似（sì）短路（lù），造成電子束流（liú）大於預定的值（zhí），主（zhǔ）開關（guān）管處於截止狀態，承（chéng）受全部的高壓，讓高壓無法輸（shū）出（chū）。由於打火而造成束流過大的時候（hòu），在電流檢測電路（lù）時取得的過流（liú）信號，使得穩（wěn）壓（yā）管被擊穿導通，管壓處於導（dǎo）通狀態（tài），這時高壓就沒有指示了。

2、無束流時，高壓指示不穩定

在正常的（de）情況下，即使有束流高壓指（zhǐ）示也應該是穩定的，無束（shù）流時高壓指示（shì）不穩定，高壓表指針就會（huì）來回的擺動，這就是不正常情（qíng）況。從原理上分（fèn）析，高壓電源和負載有問題都會出現這種現象。為了便於排查，先將（jiāng）高壓電源和（hé）負載分開，如果（guǒ）問題還在，就證明問題不在負載那方麵，而是在高壓電源那方（fāng）麵（miàn），高壓電源是由高壓部分和自動電源的主開關管進行切斷的。當有束流時，高壓指示頻繁（fán）的擺動，就是高壓出現連續性的過流打火，自動複位部分就開始（shǐ）運行，使得高壓電（diàn）源的主開關（guān）管始終處在切斷和導通這兩種狀態，反映在高壓表上的指針（zhēn）就金頻繁的擺動。在（zài）實際的（de）修（xiū）理過程中發現，有時會（huì）出現這種（zhǒng）故障並不是由於高壓電源（yuán）內部的原因，而是真空室內有汙染，因為設備（bèi）使用了很多年，鍾罩內（nèi）壁上聚集了（le）許多蒸鍍的（de）材（cái）料。在有（yǒu）束流的情況下，會產生二次、三次電子，從而產生較大（dà）的假束流，使得主開關（guān）管不停（tíng）的導通和截止，高（gāo）壓指（zhǐ）示就不穩定了。消除這種故障（zhàng），可先將電子槍、坩（gān）鍋（guō）、高壓電極進行徹底地（dì）清洗，如味故障還沒有補消除，再將鍾罩內所有（yǒu）的器件和鍾罩（zhào）內壁進行徹底（dǐ）的清洗，故障就會被消（xiāo）除，高壓指示就不會（huì）在頻繁的擺動了。