脈（mò）衝（chōng）磁控濺射是一種用矩形波電壓脈衝電源代替傳統直流電源的方法。脈衝濺射可以有效抑製電弧的產生，消除由（yóu）此產生（shēng）的薄膜缺陷，同時可以提高濺射的沉積速率，降低沉積溫度等一係（xì）列顯著優點，是濺射絕緣材料（liào）沉積的工藝。脈衝磁控濺射的工作原（yuán）理一個周期有正電壓

說起單極脈衝磁控濺射電源（yuán），可能有點困惑，但我想說的是，它（tā）是對直流磁控濺射電源的升級，是不是突然明白了？脈衝磁控濺射是用矩形（xíng）波電壓脈衝電源代替（tì）傳統直流電源的一種方法。脈衝濺射可（kě）以（yǐ）有效地抑製電弧的產生，消除由此產生的薄（báo）膜缺陷，同（tóng）時可（kě）以提高濺射的