上海MSD係列小功率直流磁控濺射電源

主要型號：

主要特點：
   A 采用先進的電（diàn）流型開關電源技術，減小輸出儲能元件，
同時提高了抑製打火（huǒ）及重啟速度，應用在（zài）鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
   B 具（jù）備恒流/恒功率模（mó）式可選。恒功率模（mó）式相對於傳統的恒流模式，
更能保證鍍膜工藝的重複性。
  C 具有理想的電壓陡降特性，自動識（shí）別偽（wěi）打火現象，
充分滿足磁控濺射工藝過程的連續性。
  D 可選擇手動（dòng）控製/模擬（nǐ）量接（jiē）口控（kòng）製，可選（xuǎn）配RS485通訊接口。
  E 專門為（wéi）試驗型真空設備定製，相對（duì）生產型設備的直流磁控濺射電源，
為客戶減小電源體積和降低成本
采用先進（jìn）的PWM脈寬調製技術，使用進口IGBT或MOSFET作（zuò）為功率開關器（qì）件，
體積小、重量輕、功（gōng）能全、性能穩定可靠，生產工藝（yì）嚴格（gé）完善。
該係（xì）列產品采用（yòng）先進的DSP控製（zhì）係統，充分保（bǎo）證鍍膜工藝的重複性，
並且具有抑製靶材弧光放電（diàn）及抗短路功能，
具有（yǒu）極佳的（de）負載匹配能力，既保證了靶麵清洗工藝的穩定性，又提高了靶麵清洗速度；
主要參數均可大（dà）範圍連續調節；
方便維護，可（kě）靠性高；
PLC接口和（hé）RS485接口擴展功能，方便實現自動化控製。

主要用（yòng）途：

直（zhí）流磁（cí）控濺（jiàn）射用於鍍製各種金屬。

真空鍍膜電源的故障現象分析及排除（chú），在實（shí）際（jì）使用（yòng）的過程中，真空鍍（dù）膜機就出現過不少故障，其中高壓電（diàn）源部分的故障較多，也比較複雜，下麵就（jiù）幾（jǐ）種典型的故（gù）障進行分析。

1、增加電子束（shù）流時，高壓沒有指示

真空鍍膜機在正常工作（zuò）的時候，設備的主開關電路中的開關管處於飽和的導通狀態，當管壓下降保持在100V左右的（de）時候，柵極得到正偏壓50V，高壓指示6kV（或10kV）。從檢測電（diàn）路上得到的電壓控製信號不足以使穩壓管（guǎn）擊穿導通。在不正常的情況下，增加束（shù）流時（shí），由於束斑的位置不在中心，電子束可能會（huì）打到坩堝的邊緣，或者（zhě）束斑的位置在中心（xīn），但蒸鍍的材料被打穿（chuān）等原因，都會出現高壓（yā）無指示。這是由於高壓輸出被（bèi）近似短路，造成電子束流（liú）大於預（yù）定的值，主開關管處於截止狀態，承受全部的高壓，讓高壓無法（fǎ）輸出。由（yóu）於打火而造成束流過大（dà）的（de）時候，在電流檢測電路時取得的過（guò）流信號（hào），使得穩壓管被擊穿導通，管壓處於導通狀態（tài），這時高壓就沒有指示了。

2、無束流時，高壓指示不（bú）穩定

在正常的情況下，即使有束流高壓指示也應該是穩定的，無束流時高壓指示不穩定，高壓表指針就會來回的擺動，這就是不正常情況。從原理上分析，高壓電源和負載有問題都會出現這種現象。為了便於排查，先將高壓電源和負（fù）載分開，如果（guǒ）問題還在，就證明問題不在負載那方麵，而是在高壓電源那方麵（miàn），高（gāo）壓電源是由高壓部分和自（zì）動電（diàn）源的主開關管進行切斷的。當有束流時，高壓指示頻繁的擺動，就是高（gāo）壓出現連續性的過流打火，自動複（fù）位（wèi）部分就開始運行（háng），使得高（gāo）壓電源的主開關管始終處在切（qiē）斷和導通這兩種狀態，反映在高壓表上的指（zhǐ）針（zhēn）就金頻繁的擺動。在實際的修理過程（chéng）中發現，有時會出現這種故障並不是由於高壓電（diàn）源（yuán）內部的原因，而是真空室（shì）內有汙染，因（yīn）為設備（bèi）使用了很多（duō）年，鍾罩內壁（bì）上聚集了許多（duō）蒸鍍的（de）材料。在有束流的情況下，會產生二次、三次電子，從而產生較（jiào）大的（de）假束流，使得主開關管不停（tíng）的導通和截止，高壓指示就（jiù）不（bú）穩定了。消除這種故障，可先將電子槍、坩鍋、高壓電極進行徹底地清洗，如味（wèi）故障（zhàng）還（hái）沒有補消除，再將鍾罩內所有的器（qì）件和鍾罩內壁進行徹底（dǐ）的清洗，故障就會被消除，高（gāo）壓指示就不會在頻繁的擺動了。