偏壓電源類（lèi）型

脈衝偏壓電源是真空電弧離子鍍和磁控濺射鍍膜或其（qí）他真空物理氣相沉積設備的重要組成部分，對於（yú）不同的鍍膜工藝，偏壓電源也分為不同的類型

根據波形可以分為：

一、直流偏壓電源（yuán）

二、直流脈衝（chōng）偏置

主要特點（diǎn）

1.高頻（pín）單極脈衝對工件施加偏壓（yā），與直流偏壓相比（bǐ），由於電壓中斷間隙的存在，可以有效減少點火次數（shù），保護工件表麵（miàn）。

2.在脈衝（chōng）間隙期間，可以中和（hé）工件表麵積（jī）聚的電荷，從而減少（shǎo）表麵（miàn）電荷積聚引起的點火。

3.高頻（pín）逆（nì）變器技術的快速關斷能力可以有效地減（jiǎn）少每個火花釋放的能量，即使在火花出現時，也可以顯著降低工（gōng）件表麵的大損傷程度。

4.在脈衝間隙期（qī）間沉（chén）積到工（gōng）件表麵的離子能（néng）量非常低。

5.可以通（tōng）過調節頻率和占（zhàn）空比來提（tí）高（gāo）和控製（zhì）成膜速度（dù）和質量。

三、直流疊加脈衝偏置

主要特點

1.具（jù）有單極脈衝偏置電源的所有特性。

2.在直流和直流疊加脈衝模式下，消除了單極脈衝間隙之間離子能（néng）量低的問題。

四、雙極脈衝偏（piān）置

主要特（tè）點

1.負脈衝的作用與單極脈衝偏置電源相同，正脈衝的作用主（zhǔ）要是吸引等離子（zǐ）體中的電子，以中和（hé）工件表麵正電荷的積累。因為電子的質量比離子（zǐ）的質量小得（dé）多，加速很容易，所以正脈衝的（de）振幅比負脈衝的（de）振幅小得多——通常為10~100V，正負脈衝的電流積分應該相等。因此，正電源的功率遠小於負（fù）電源的功率。

2.當正電源（yuán）電壓為零時，雙極脈衝偏壓變為單（dān）極（jí）脈衝偏壓（yā）。