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	真空鍍膜有蒸發鍍(dù)膜、濺射鍍膜和離子鍍膜三種形式:當濺射鍍膜用高能粒子轟擊(jī)固體表麵時,可以獲得固體表麵的粒子(zǐ)。能量從表麵逸出並沉積在基板上;離子鍍蒸發物質的分(fèn)子通過電子撞擊被(bèi)電離,並以離子的形式沉積在固體表麵。
所有三種形式的真空鍍膜技(jì)術都需要快速冷(lěng)卻裝置來輔助真(zhēn)空鍍膜過程(chéng)。由於工(gōng)件在鍍膜過程中處(chù)於封閉的真空環境中,真空設備失去了很多產品技術和性能。現有的真(zhēn)空鍍膜(mó)設備也有冷卻裝置,但其冷卻效果不是很理想。

不能滿足(zú)人們的需要(yào),為彌補現(xiàn)有技術(shù)的不足,真(zhēn)空鍍膜電(diàn)源廠家提供一種真空鍍膜設備手套箱蒸(zhēng)發一體機。該係統集成了真空鍍膜係統和手套箱係統,可在高(gāo)真空(kōng)蒸發室中完成薄膜蒸發。樣品(pǐn)在手套箱中的高純度(dù)惰性氣體(tǐ)氣氛下蒸(zhēng)發後儲存、製備和(hé)測試。為保證塗層產品工藝和性能質量要求而設置的快速冷卻係統,可實現快速冷卻自動控製的目的。
蒸發鍍膜與手套箱相(xiàng)結合,實現了蒸發、封裝、測試等過程的全封閉生(shēng)產,使整個薄膜生長和器件製備過(guò)程高度集成在一個環境氣氛(fēn)可控的完整係統中,無需有機(jī)大-區域電路準備。大氣環境中(zhōng)不穩定因素的影響,保證了高性能、大麵積(jī)有機(jī)光電器件和電路的製備(bèi)。
 
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