 
	真空鍍膜電源采用先進的PWM脈衝寬度調製技術性,具備良好的動態性性能和抗幹擾性(xìng)才可以,動態性映襯時時刻刻十分小。整體規(guī)劃(huá)有工作電壓.電流量雙閉(bì)環(huán)控(kòng)製操控電源電路,可即時(shí)對輸出電流電壓的操(cāo)控(kòng)。在起弧和維弧時要積極急速操控電流電壓使起(qǐ)弧和維弧工作更穩定(dìng),減壓穩(wěn)壓閥(fá)精密度大大的發展,能有效節約濺射靶材使用量,發展生產能力,保證 鍍膜品質。
真空機電(diàn)源的大的特點及產品優點:采用(yòng)了先進的PWM脈衝寬度調製技術性,具備良好的動態性性(xìng)能和抗幹擾性才可以,動態性映襯時時(shí)刻刻低於(yú)10mS。整體規(guī)劃有工作電壓.電流量雙(shuāng)閉環控製操控電源電路,可即時對輸出(chū)電流電壓的操控,能有效解決磁控濺射流程中負極(jí)相對孔徑的不清理造成電光(guāng)充放電導致大電流量衝擊性造成電源的毀(huǐ)壞疑惑。

采用智能化DSP操控技術性,積極操控電源的(de)恒流源恒(héng)流電源情況。在(zài)起弧和維弧時要積極急(jí)速操控電(diàn)流電壓(yā)使起弧和維弧工作更穩(wěn)定。具備工(gōng)作(zuò)電壓陡降特點,可充足令人滿意(yì)射(shè)頻濺射的特別要(yào)求。
電源的輸出(chū)電流電壓操控精密度低於0.2%。具(jù)備模擬量輸入操控插口,客戶(hù)的4-20mA數據信號能(néng)操控電(diàn)源的電流電壓,電源輸出4-20mA數據信號供客戶的PLC呈現電源的輸出電流電壓。電源的功率因素達到0.95,電源輸出功率≥90%。
 
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