脈衝（chōng）偏壓電源是真（zhēn）空電弧離子鍍和磁控濺射鍍膜或其（qí）他真空物（wù）理氣相沉積設（shè）備的重要組成部分，對於不同的鍍膜工藝，偏壓電源也分為不同的類型根據波（bō）形可以分為：一、直流偏壓電源二、直流脈衝偏置主要特點1.高頻單極脈衝對工（gōng）件施加偏壓，與直（zhí）流偏壓相比，由於電