說起單極脈衝磁控（kòng）濺射電源，可能（néng）有（yǒu）點困惑，但我想說的是，它是對直流磁控濺射電（diàn）源的（de）升級，是不是突然明白了？脈衝磁（cí）控濺射是用矩形波電壓脈衝電源代替傳統直流（liú）電源的一種（zhǒng）方法。脈衝濺射可以有效地抑製電弧的產生，消除由此（cǐ）產生的薄（báo）膜缺陷，同時（shí）可以提（tí）高濺（jiàn）射的