| 無法啟（qǐ）動 | 1. 主電源未接通或電壓異常 | 1. 檢查供電線路（lù）（空氣開關、插座），確（què）認電壓符合設（shè）備額定值（如 380V/220V） |
| 2. 保險管 / 熔斷（duàn）器燒毀 | 2. 斷電後更換同（tóng）規格保險管（guǎn）（需確（què）認無短路後再更換（huàn），避免（miǎn）再（zài）次燒毀） |
| 3. 控製信號（如觸發信號、遠程控製）未輸入 | 3. 檢（jiǎn）查控製線路（PLC 或手動控製器連接），確保信號電壓 / 電流符合設備要求（如 0-10V 模擬量） |
| 4. 電源內部接觸器或（huò）繼電器（qì）故障 | 4. 聯係廠家維修或更換接觸（chù）器 / 繼（jì）電器（需專業人員操作） |
| 輸（shū）出電壓 / 電流不穩定 | 1. 輸入電壓波動過大 | 1. 加裝穩壓器穩定供電（diàn）；檢查（chá）電網是否有（yǒu）其他大功率設備幹擾 |
| 2. 連接線路接觸不良（如電纜接頭鬆動） | 2. 斷電後重新緊（jǐn）固電纜接頭（尤其是靶材、電極連接線），清潔接（jiē）頭氧（yǎng）化層 |
| 3. 真空度不穩定（真空（kōng）室漏氣或真空泵故障） | 3. 檢查真空室密封（fēng）件（O 型（xíng）圈），修複漏氣點（diǎn）；維護真空泵（換油、清（qīng）理過濾器） |
| 4. 電源內部電壓反饋電路（lù）故障 | 4. 由廠家校準反（fǎn）饋電路或更換（huàn）損壞元件 |
| 過（guò）流保護頻（pín）繁觸發 | 1. 靶材與真空室短路（靶（bǎ）材變形、碎屑搭橋） | 1. 停機後檢查靶材，清理碎屑；更換變（biàn）形靶（bǎ）材，確保靶材與腔體絕緣 |
| 2. 真空度不足（低於工藝要求） | 2. 延長抽真（zhēn）空時間，檢查真空泵性能；修複（fù）漏氣點，確保真空（kōng）度≥1×10⁻³Pa（視（shì）工藝（yì）而定（dìng）） |
| 3. 電源輸出參（cān）數設（shè）置過高（如電流超（chāo）限（xiàn）） | 3. 降低輸出電流 / 功率至額定範圍，重新設置參數並保存 |
| 4. 過流（liú）保護電路誤動作（zuò）（元件老化（huà）） | 4. 更（gèng）換老化的保護電（diàn）路（lù）元件（如電流傳感器、比較器） |
| 電（diàn）弧放電頻繁（fán） | 1. 真空度偏低或氣體流量不穩定 | 1. 提高真（zhēn）空度至工藝標準；檢查氣體流量計、閥門，確保流量穩定（如氬氣流量（liàng） 50-200sccm） |
| 2. 靶材表麵汙染（氧化、油汙） | 2. 清（qīng）潔靶材表麵（酒精擦拭），或進行預濺射（低功（gōng）率轟擊 10-20 分鍾） |
| 3. 電源弧抑製參數設置不當 | 3. 調整脈衝電源的弧（hú）抑製時間（通常 0.1-10μs）和熄弧電流，增強滅弧能力 |
| 4. 基底與（yǔ）靶材距離過近 | 4. 調整工裝，增大基底與靶（bǎ）材間距（通常 50-200mm，視鍍膜類型而定） |
| 無輸出功率 | 1. 控製板故障（無觸發信號輸出（chū）） | 1. 檢查控製（zhì）板指示燈，更換損壞的控製板或修複觸發（fā）電（diàn）路 |
| 2. 功率模塊損（sǔn）壞（如 IGBT、晶閘管燒毀） | 2. 檢測功率模塊導（dǎo）通性，更換同型號模塊（需專業人員（yuán）操作，避免（miǎn）靜電損壞） |
| 3. 反饋信（xìn）號中（zhōng）斷（如電（diàn）壓 / 電流傳感器故障） | 3. 檢查傳感器接線，更換（huàn）故障傳（chuán）感器 |
| 顯（xiǎn）示異常（亂碼 / 無顯示） | 1. 顯示屏損壞或排線（xiàn）鬆動 | 1. 重（chóng）新插拔顯示屏排線；更（gèng）換顯示屏 |
| 2. 主控板程序出錯（cuò）或供電異常 | 2. 重啟電源複位程序；檢查主控板供電電壓（通常 5V/12V），修複供電電路 |
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