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工藝(yì)優化的方式5:
電路設計改進:設計電壓(yā)、電流雙閉環控製(zhì)電路,可實時對輸出電壓電流進行(háng)控製,有效解決濺射過程中(zhōng)陰極靶(bǎ)麵的不清潔引起弧光放電造成大電流衝(chōng)擊引起電源(yuán)損壞的問(wèn)題。同時,采用 ZVS 零電壓移相全橋(qiáo)技術,實(shí)現高精度輸出電壓、電流,提高電源的效率和穩定性。
控製算法優化:采用數字化 DSP 控製技術,自動控製電源(yuán)的恒壓恒流狀態,在起弧和維弧時能(néng)自動快速控製電壓電(diàn)流,使起弧和維弧工作更穩定,穩流精度大大提高(gāo)。針對新靶清洗時存在的頻繁打火現象,設計抑製打火自動保護功能,既保證了靶麵清洗工藝的穩(wěn)定(dìng)性,又提高了靶麵清洗(xǐ)速度(dù)。
製造工藝改進:通過改進製造工藝,提高電源的(de)生產質量和一致性。例(lì)如,采用先進的焊接工藝(yì)、封裝工藝等,確保電源的各個部件之間連接可靠,減少因(yīn)製造工藝問題導致的電源故障。
穩定性增強的意義:
提高鍍膜產品質量:穩定性顯著增(zēng)強可以提高鍍膜產品的質量和一致性,降低不(bú)良(liáng)品率。例如,穩定的電源性能可以保證鍍膜過程中薄膜(mó)的厚度均勻性(xìng)和成分一致(zhì)性,從而提高鍍膜產品的光學性能、機械性能等關鍵指標。
降低維護成本:穩定的電源性能有助(zhù)於延長設備的使(shǐ)用壽命,減少設備的維修和更換次數,降低維護成本。同時,穩定性增強還可以提高生產效率,減少因設備故(gù)障導致的生產(chǎn)停滯時間(jiān),提高企業的經濟效益。
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